「クリーンルーム」通信教育講座:より良いCR実現のための基礎とポイント

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「クリーンルーム」通信教育講座:より良いCR実現のための基礎とポイント

    

★より良いクリーンルームを実現するための3ヵ月講座。自宅や会社等お好きな場所で、自分のペースで学習できます。
★知っておくべき基礎知識から適切な作業員管理・教育方法、清浄度を維持・確保するための勘所まで!

より良いクリーンルーム実現のための
基礎知識と重要ポイント

講師

新日本空調株式会社 管理本部 人事部 人材開発課 参事 水谷 旬 氏

講師紹介

※本ページ下部に記載。

開講日・受講料

●開講日  2020年8月31日(申込締切 8月26日)

●受講料(税込み)
 1名 37,400円
 2名同時申込の場合 50,600円
 3名同時申込の場合 56,100円
 4名以上同時申込の場合、1名につき、18,700円


■ 通信教育講座受講の主な流れについて →

講座開講にあたって

◆本講座について:
 この通信講座では,クリーンルームに関する知識を総合的に高め,さらにその応用として,製品の歩留まり向上に結び付く様々な考え方(理論)とコツ(実践)のわかりやすい解説を通して,実務への即応力を身に付けることを第一の目的とする.
 現在では,省エネのために,“必要な場所に,過不足のない清浄度レベルで”という要求があたりまえになってきている.しかし,製品廻りでこのような状態を確保・維持するにはどのようにすればよいのであろうか? この課題に何らかの指針を与えてみたいと思う.

◆各講のポイント:

【第1講】知っておきたいクリーンルームの基礎知識と誤解の解きほぐし

◎最重要ポイントである清浄度の定義と計算方法。清浄度は不均一である!
◎いまさら聞けないクリーンルームの種類のおさらいと得意分野
◎クリーンルーム内で発生する汚染物質の種類と発生源(塵埃を中心に)
◎場面ごとの気流の流れと可視化 → 適切な環境制御のために知っておきたいこと
◎塵埃の性質を学びトラブル対策に活かす。
◎良品率を高めるために知っておくべき塵埃・ミストの性質や各場面での挙動・拡散

【第2講】人間からのクリーンルーム汚染を防ぐ!適切な作業員管理・教育とは!?

◎押さえておくべきクリーンルームの4原則
◎作業者が服装と着用法。
◎作業者からの異物を防ぐ!適切な所作や教育方法とは?
◎物からの発塵ってどうやって起こるの?−衣服を中心に解説
◎人からの発塵のメカニズムや拡散範囲は?−重要ポイントを図表や実験を交えて解説。
◎データを交えた適切なクリーンスーツ・手袋の選び方、エアシャワーの時間とは?
◎清掃はどのレベルまで行えば良い?ー基本から場所に応じた清掃手法、頻度、ポイントまで
◎気になるクリーンルーム関連の最新規格動向とは!?

【第3講】扱う製品に見合う清浄度をなるべく安価に実現する「局所高清浄度域の確保・維持」を学ぶ!

◎局所高清浄度域とは何か?
◎より良いクリーンルーム実現へ避けられない「気流」。各所におけるメカニズムと設計方法を学ぶ
◎製品に近い特に清浄度の高いエリアで気を付けるべきポイント
 ―エリア内に入れる人数は?、状態維持のための監視は?、台車が通過した時は?など
◎清浄度の高いエリアと低いエリアの境界部分で気を付けるべきポイント
 ―境界の決定方法、風量のバランス、仕切りの注意点、製造装置が変わった時、など
◎吹出口が点在していても、エリア内の隅々まで清浄化できていない時がある!理由と対策は?
◎汚染物質が出てしまった時の具体的な対策例
 ―汚染物質の測定フロー、模擬実験、対策のステップ

学習プログラム
 第1講 クリーンルームの一般知識と実状(清浄度、気流、塵埃など)

 この第1講では,後に続く内容を理解するために,クリーンルームに関する重要な用語・事項を確認する.特に,クリーンルーム内の気流・塵埃の実状(流れ,発塵,拡散範囲)を見る.これらは,第3講で出てくる”局所高清浄度域の確保と維持”に重要な関わりを持ってくる.

1.清浄度の再確認、及び誤解の解消
 1.1 清浄度のイメージと定義
 1.2 清浄度の均一さとは?

2.CRの種類の再確認
 2.1 用途による分類
 2.2 気流の流れによる分類
 2.3 構造の違いによる分類

3.CR内の汚染物質の再確認

4.CR内の気流の実状

 4.1 CR内の気流の流れ
 4.2 模擬製造装置廻りの気流

5.CR内の塵埃・ミストの実状
 5.1 塵埃の性質
  5.1.1 停止距離(stopping distance)
  5.1.2 終末沈降速度(terminal settling velocity)
  5.1.3 ミスト(液滴)について
 5.2 垂直一方向流型CR内での塵埃の挙動・拡散
  5.2.1 CR停止状態から稼動状態にした場合(実験結果)
  5.2.2 点発塵源から瞬時発塵した場合
  5.2.3 気流が曲がる場合の塵埃の挙動・拡散
 5.3 運動機構からの発塵

<参考文献・第1講演習問題>

※テキスト約30ページ。

第2講 作業員の管理と教育,クリーンルームの清掃,国内外関連規格の動向

 この第2講では,クリーンルームあるいはクリーンエリア内の主要発塵源の一つである人間(作業員)からの発塵機構を解明すると共に,その汚染防止の指針を探る.また,クリーンスーツ・クリーン手袋・エアシャワーなどについて,正しい認識が持てるようにする.併せて,クリーンルームの清掃について解説する.さらに,国内外関連規格の最新動向についても言及する.

6.CR内の作業員管理と教育
 6.1 守るべき大原則
 6.2 適正な服装・着用
 6.3 人の位置取り・適正な動作
 6.4 作業者への管理・教育の要点/注意点
 6.5 物・人からの発塵機構(内圧変動、摺動発塵、拡散範囲)
  6.5.1 物からの発塵
  6.5.2 人からの発塵・拡散機構・拡散範囲
 6.6 クリーン手袋の着用方法
 6.7 クリーンスーツの選定方法・洗濯頻度・劣化
 6.8 エアシャワーについて

7.CRの清掃
 7.1 清掃の種類と方法
 7.2 各部位の清掃方法・頻度・注意点
 7.3 CR運転停止時の塵埃挙動

8.CRの国内外関連規格の最新動向
 8.1 全体概要
 8.2 ISO規格
 8.3 JIS規格
 8.4 JACA指針

<参考文献・第2講演習問題>

※テキスト約56ページ

第3講
 局所高清浄度域の確保と維持,クリーン化への指針(対策),改善事例,その他

 この第3講では,第1・2講で得た知識・知見に基づき,「局所高清浄度域の確保と維持」について解説する.そして,歩留まり向上への対策指針と,製造環境の改善事例も示す. 最後に参考文献紹介を付す.

9.局所高清浄度域の確保と維持
 9.1 局所高清浄度域のコンセプト
 9.2 局所高清浄度域の構造、その確保と維持
 9.3 風量バランスと流線の制御
 9.4 クリーンベンチ内とその周辺気流の制御
 9.5 異風速吹出し(図79)
 9.6 垂直一方向流域と非一方向流域との境界
 9.7 各種吹出口による気流性状、除塵(clean up)能力
 9.8 可搬式クリーンブースのclean up 特性
 9.9 風量バランス調整と、高清浄度域の確保と維持
  9.9.1 対象領域の天井内がチャンバーの場合
  9.9.2 対象領域の天井部分がFFUで構成されている場合
 9.10 室間差圧
 9.11 まとめ

10.さらなる清浄化への指針(対策)
 10.1 汚染物質の把握
 10.2 普遍的な対策のコンセプト
 10.3 汚染の回避/除去/抑制の手順と考え方
 10.4 汚染対策の要点(まとめ)

11.製造環境改善事例

講師から、最後に


<参考文献・第3講演習問題>

※テキスト約48ページ

講師紹介

■ご略歴:
 1980年代より、主にクリーンルームに関する研究・開発に従事。
現在は、長年の成果品の情報整備と活用、技術営業、社内外教育、社内教育プログラム設計、社内プレゼンテーション講師、学協会活動、講演、執筆、通信教育(社外)、知的財産権管理等を行っている。
 講演回数63回(累計409.5時間)、執筆88件、通信教育15件.

■学協会でのご活動:
・ISO/TC国内委員会委員(日本空気清浄協会)
・「クリーンテクノロジー」誌 編集委員

■著書・執筆:
・「半導体製造装置用語辞典」(第4版)(1997)共著
・「液晶ディスプレイ製造装置用語辞典」(第2版)(2003)共著
・「――初心者のための――クリーンルーム入門 」(2005)共著
・「――初心者のための――クリーンルーム入門(第2版)」(2007)共著
・「クリーンルーム通信教育」テキスト(2007)
・「微生物管理実務と最新試験法」第6章
  クリーンルームの浮遊塵埃数と空中浮遊菌の測定および環境管理(2007)
・「クリーンルームの設計・施工マニュアル」(2008)共著
・「――初心者のための――クリーンルーム入門(第3版)」(2008)共著
・講演録「クリーンルームの基礎と汚染対策、作業員教育」第1刷(2009)
・「クラス10、000のクリーン管理 ――局所高清浄度域の確保と維持――」通信教育テキスト(2009)
・「――初心者のための――クリーンルーム入門(第4版)」(2010)共著
・「クリーンルーム国際資格認証制度の動向」(2010)
・「わかりやすいクリーンルーム総合講座 歩留まり向上のための改善ポイント」
  通信教育テキスト(2011、2018、2019)
・講演録「クリーンルームの基礎と汚染対策、作業員教育」第2刷(2011)
・「クリーンルームで発生する総合トラブル対策 −実例集−」(2012)共著
・「わかりやすく学べる クリーンルームの基礎と汚染対策」第1回〜第67回
・「実験者/試験検査員の誤ったデータの取扱い・試験誤操作防止策」
  第7章 試験室、実験室設備の設計 第3節 実験室の各種フィルタ、pp.219-226(2014.3.31)
・「クリーンルームの設計・施工マニュアル【改訂版】」(2015)共著
など多数。

セミナー番号:CP200805

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