ナノインプリント セミナー

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ナノインプリント セミナー

ナノインプリントに使用される樹脂やモールド等についての基礎知識から離型法・欠陥対策まで!
★積層構造やマイクロ/ナノ混在構造などの三次元構造作製技術:その可能性とは?!
★様々な製品応用のすすめ方:材料・装置選択のポイントについて、最新動向をふまえ解説!

ナノインプリント

基礎およびプロセス技術・応用技術最新動向

講師

大阪府立大学 大学院 工学研究科 教授 博士(工学) 平井義彦 先生

* 希望者は講師との名刺交換が可能です

*本テーマ関連のご活動:

 国際ナノインプリント・ナノプリント技術会議(NNT) 組織委員
 応用物理学会 ナノインプリント技術研究会 会長
 国際マイクロナノ技術会議(MNE) 国際組織委員
 国際マイクロナノテクノロジー会議(MNC) 組織委員
 応用物理学会 フェロー

→このセミナーを知人に紹介する

日時・会場・受講料

●日時 2020年1月27日(月) 10:30-16:30
●会場 [東京・大井町]きゅりあん5階第2講習室 →「セミナー会場へのアクセス」
●受講料 1名47,300円(税込(消費税10%)、資料・昼食付)
 *1社2名以上同時申込の場合、1名につき36,300円
      *学校法人割引;学生、教員のご参加は受講料50%割引。→「セミナー申込要領・手順」を確認下さい。

 ●録音・撮影行為は固くお断り致します。
 ●講義中の携帯電話の使用はご遠慮下さい。
 ●講義中のパソコン使用は、講義の支障や他の方の迷惑となる場合がありますので、極力お控え下さい。
  場合により、使用をお断りすることがございますので、予めご了承下さい。
  *PC実習講座を除きます。


■ セミナーお申込手順からセミナー当日の主な流れ →

セミナーポイント

 ナノインプリントによる微細成型に関するメカニズムの基礎をしっかり理解します.
 使用される樹脂やモールドについての知識および欠陥対策等をしっかりと理解したうえで,三次元構造の作成技術等様々な可能性を秘めたシーズについて紹介し,さらに応用展開について最新の動向に触れながら理解を深めます.

○受講対象:
 ・ナノ加工プロセスの効率化・低コスト化をお考えの方、効率的で低コストのナノ加工の開発に携わっている方
 ・ナノインプリントでのトラブルでお困りの方
 ・ナノインプリントの利用をお考えの方
等々

○受講後、習得できること:
 ・成型の原理,樹脂の粘弾性特性,光硬化特性とプロセス最適化に関するの基礎知識
 ・成型中の欠陥要因についての基本とその回避方法
 ・離型の原理と,欠陥の回避方法
 ・三次元構造の成型,マイクロ・ナノ混在構造の成型の基本
 ・製品応用のすすめ方と材料・装置の選択 等

セミナー内容

1. ナノインプリント法の概要
 1.1 熱ナノインプリントの基礎

  1.1.1 熱ナノインプリントの原理・特徴と長短所
  1.1.2 熱ナノインプリント用樹脂への要求特性
  1.1.3 樹脂の粘弾性と成型性
  1.1.4 形状依存性
  1.1.5 成形速度依存性
  1.1.6 残留応力
 1.2 光ナノインプリントの基礎
  1.2.1 光ナノインプリントの原理・特徴と長短所
  1.2.2 光ナノインプリント用樹脂への要求特性
  1.2.3 樹脂の流動と充填
  1.2.4 UV照射とパターンサイズ
  1.2.5 UV硬化の基礎とその特性
 1.3 ナノインプリントにおける分子挙動と材料特性
  1.3.1 ナノインプリントの分子動力学解析
  1.3.2 樹脂充填と分子挙動
  1.3.3 成型と離型の分子量依存性

2. モールド技術
 2.1 モールド作製の基礎
 2.2 曲面モールドの作製
 2.3 レプリカ作製方法

3. 離型技術
 3.1 モールドと基板の表面処理方法
 3.2 離型の基本メカニズム

  3.2.1 破壊力学によるシミュレーション
  3.2.2 界面吸着と静止摩擦モデルによるシミュレーション
  3.2.3 モールド側壁傾斜角と離型性
 3.3 熱ナノインプリントとUVナノインプリントの離型性
  3.3.1 樹脂の種類と離型性
 3.4 離型方法と欠陥の低減
  3.4.1 離型剤による離型性改善
  3.4.2 偏析剤による離型性改善
  3.4.3 離型方法による離型性改善
  3.4.4 モールド材料の剛性の最適化

4.樹脂の収縮
 4.1 樹脂収縮の影響 (熱収縮とUV収縮)
 4.2 樹脂収縮と寸法精度
 
5. 三次元構造の作製技術
 5.1 リバーサル・ナノインプリントによる三次元積層構造の作製

  5.1.1 リバーサル・ナノインプリントの原理
  5.1.2 転写モードとリバーサルモード
  5.1.3 リバーサル・ナノインプリントによる三次元積層構造の応用例
  5.1.4 三次元積層構造作製における課題
 5.2 ハイブリッドナノインプリントによる三次元マイクロ・ナノ混在構造の作製
  5.2.1 ハイブリッドナノインプリントの原理
  5.2.2 ハイブリッドナノインプリントによるマイクロ・ナノ混在構造
  5.2.3 三次元マイクロ・ナノ混在構造の応用例
  5.2.4 三次元マイクロ・ナノ混在構造作製における課題

6. ナノインプリントの製品応用のすすめ方と最新動向
  〜構造および材料・装置選択のポイント〜

 6.1 光デバイスへの応用

  6.1.1 反射防止構造
  6.1.2 波長版
  6.1.3 ディスプレイデバイス
 6.2 バイオ・マイクロ流路デバイスへの応用
  6.2.1 肺がん検査チップ
  6.2.2 抗がん剤濃度検出チップ
  6.2.3 流体制御構造など
 6.3 半導体・電子デバイスへの応用
  6.3.1 半導体メモリ
  6.3.2 太陽電池
  6.3.3 LEDなど
 6.4 生体模倣構造への応用
  6.4.1 撥水構造
  6.4.2 吸着構造
  6.4.3 流体制御など

7. 今後の展開と課題

  <質疑応答>

セミナー番号:AC200177

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