スパッタリング・真空蒸着セミナー:ペルノックス・岩村先生_2024年3月13日オンライン配信
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Zoom見逃し視聴あり

オンライン受講/見逃視聴なし → 

オンライン受講/見逃視聴あり → 


成膜の基本となる考え方から、現象の詳細、膜応力・密着力の評価方法と
材料設計への活かし方に至る技術を広く活用していただけるよう、分かりやすく解説します。

スパッタリング・真空蒸着

〜基本知識とトラブル対策〜

<Zoomによるオンラインセミナー:見逃し視聴あり>

講師

ペルノックス株式会社 事業戦略室 室長 工学博士 岩村 栄治 先生

日時・会場・受講料

●日時 2024年3月13日(水) 10:30-17:00
●会場 会場での講義は行いません。
●受講料
  【オンラインセミナー(見逃し視聴なし)】:1名47,300円(税込(消費税10%)、資料付)
  *1社2名以上同時申込の場合、1名につき36,300円

  【オンラインセミナー(見逃し視聴あり)】:1名52,800円(税込(消費税10%)、資料付)
  *1社2名以上同時申込の場合、1名につき41,800円

      *学校法人割引;学生、教員のご参加は受講料50%割引。→「セミナー申込要領・手順」を確認下さい。

 ●録音・録画行為は固くお断り致します。


■ セミナーお申込手順からセミナー当日の主な流れ →

※配布資料等について

●配布資料はPDF等のデータで配布致します。ダウンロード方法等はメールでご案内致します。
・配布資料に関するご案内は、開催1週前〜前日を目安にご連絡致します。
・準備の都合上、開催1営業日前の12:00までにお申し込みをお願い致します。
 (土、日、祝日は営業日としてカウント致しません。)
・セミナー資料の再配布は対応できかねます。必ず期限内にダウンロードください。

●当日、可能な範囲でご質問にお答えします。(全ての質問にお答えできない可能性もございます。何卒ご了承ください。)
●本講座で使用する資料や配信動画は著作物であり、無断での録音・録画・複写・転載・配布・上映・販売などは禁止致します。
●ご受講に際しご質問・要望などございましたら、下記メールアドレス宛にお問い合わせください。
req@johokiko.co.jp

オンラインセミナーご受講に関する各種案内(ご確認の上、お申込みください。)
・PC/タブレット/スマートフォン等、Zoomが使用できるデバイスをご用意ください。
・インターネット 回線速度の目安(推奨) 下り:20Mbps以上
・開催が近くなりましたら、Zoom入室URL、配布資料、当日の流れなどをメールでご連絡致します。開催前日(営業日)の12:00までにメールが届かない場合は必ず弊社までご一報ください。
・受講者側のVPN、セキュリティ設定、通信帯域等のネットワーク環境ならびに使用デバイスの不具合については弊社では対応致しかねますので予めご了承ください。

Zoom
Zoom使用に関する注意事項(クリックして展開)
・公式サイトから必ず事前のテストミーティングをお試しください。
 → 確認はこちら
 →Skype/Teams/LINEなど別のミーティングアプリが起動していると、Zoomで音声が聞こえない、
  カメラ・マイクが使えない等の事象が起きる可能性がございます。
  お手数ですが、これらのアプリは閉じた状態にてZoomにご参加ください。
 →音声が聞こえない場合の対処例

・Zoomアプリのインストール、Zoomへのサインアップをせずブラウザからの参加も可能です。
 →参加方法はこちら
 →一部のブラウザは音声が聞こえない等の不具合が起きる可能性があります。
  対応ブラウザをご確認の上、必ず事前のテストミーティング をお願いします。
  (iOSやAndroidOS ご利用の場合は、アプリインストールが必須となります)

見逃し視聴あり
申込み時に(見逃し視聴あり)を選択された方は、見逃し視聴が可能です。
(クリックして展開)
・見逃し視聴ありでお申込み頂いた方は、セミナーの録画動画を一定期間視聴可能です。
・セミナーを復習したい方、当日の受講が難しい方、期間内であれば動画を何度も視聴できます。
・原則、遅くとも開催5営業日後までに録画動画の配信を開始します(一部、編集加工します)。
・視聴期間はセミナー開催日から5営業日後を起点に1週間となります。
 ex) 2/6(月)開催 セミナー → 2/10(金)までに配信開始 → 2/17(金)まで視聴可能
 ※メールにて視聴用URL・パスワードを配信します。配信開始日を過ぎてもメールが届かない場合は必ず弊社までご連絡ください。
 ※準備出来しだい配信致しますので開始日が早まる可能性もございます。その場合でも終了日は変わりません。
  上記例の場合、2/8(水)から開始となっても2/17まで視聴可能です。
 ※GWや年末年始・お盆期間等を挟む場合、それに応じて弊社の標準配信期間設定を延長します。
 ※原則、配信期間の延長は致しません。
 ※万一、見逃し視聴の提供ができなくなった場合、
  (見逃し視聴あり)の方の受講料は(見逃し視聴なし)の受講料に準じますので、ご了承ください。
 →見逃し視聴について、こちらから問題なく視聴できるかご確認ください。(テスト視聴動画へ) パスワード「123456」 

セミナーポイント

■はじめに
本セミナーでは、スパッタや真空蒸着によって無機・金属薄膜を形成する場合に問題となる膜質制御や剥離対策にテーマに絞り、(1)一つの技術課題とその解決のキーポイントの例示→(2)その技術内容に関わる最低限知っておきたい基礎事項の紹介→(3)成膜や特性改善に関する具体例を使ったより詳しい解説、という順で平易に説明します。主にスパッタ膜を取り上げますが、成膜の基本となる考え方から、現象の詳細、膜応力・密着力の評価方法と材料設計への活かし方に至る技術を、広く活用していただけるよう解説します。現在成膜に関する問題を抱えられている方、これから成膜技術をより深く理解して製品開発に取り組まれようとされる方、成膜品の品質検査や管理に関わる方に適した内容です。

■受講対象
・スパッタ・真空蒸着を用いた成膜技術に関わる初学者
・中堅製品・プロセス開発技術者
・成膜品検査や品質管理に関わる技術者

■本セミナーに参加して修得できること
・成膜と薄膜形成の基礎知識
・膜質制御・剥離対策に必要な基礎知識
・膜応力や密着力の評価方法と管理の基礎知識

セミナー内容

1.成膜プロセスと薄膜形成現象を理解したい

  Introduction 成膜方法により生じる膜質変化の具体例

  1-1.何に注目して成膜プロセスの制御を考えるのか
  1-2.スパッタと真空蒸着の違い
  1-3.成膜装置と真空をあつかうための必要最小限の基礎知識
  1-4.薄膜の初期構造や微視的組織はどのように形成されるのか
  1-5.膜形成プロセスを利用した膜質制御の具体例と成膜最適化の考え方
     ・段差被覆性
     ・ウルトラクリーンプロセスの利用
     ・マクロな膜構造の制御

2.膜の均一性・均質性を制御したい

  Introduction 膜質を効果的に制御する具体例

  2-1.スパッタリングの成膜環境
  2-2.プラズマとは:制御パラメータと評価方法
  2-3.イオン・高エネルギー粒子の照射現象
  2-4.プラズマを利用した膜質制御の具体例
     ・膜質(密着性・比抵抗)の面内均一性
     ・硬質コーティングの多機能化

3.膜応力を低減したい

  Introduction 膜応力が原因となった不具合とその対策の具体例

  3-1.膜応力とは
  3-2.応力発生のメカニズム
  3-3.多層膜やパターニングされた薄膜の応力で注意する点
  3-4.膜応力を低減させる成膜手法の考え方

4.密着力を良くしたい

  Introduction よくある剥離トラブル事の対応における失敗例

  4-1.薄膜の密着力とは
     ・基板と薄膜の界面の構造
     ・異種材料界面がくっついている根本的な原因と界面に働く相互作用
     ・密着と粘/接着との違い
  4-2.剥離を起こしている材料的要因を簡単に絞り込む方法
  4-3.密着性を改善するには
     ・Griffithの破壊の考え方と剥離を起こさせない条件
  4-4.密着性を向上させる様々な方策
  4-5.密着性をどのように評価するか
  4-6.スクラッチ試験による密着力測定と材料設計への活かし方

5.まとめ

講師紹介

【略歴】
1990年 東京大学工学研究科修士課程修了(金属工学専攻)
2000年 工学博士 (東京大学)
1990年〜2001年 (株)神戸製鋼所 技術開発本部 研究員
1994年〜1996年 スタンフォード大学材料科学工学科 客員研究員
2002年〜2005年 科学技術振興機構 さきがけ研究21 個人研究者
2005年〜 荒川化学工業株式会社 (2013〜ペルノックス株式会社)

【専門】機能性材料設計、ナノ複合構造制御、薄膜形成プロセス、微細構造評価

【本テーマ関連学協会での活動】
受賞:日本金属学会論文賞、地方発明表彰支部長賞、全国発明表彰発明賞
著書:「薄膜の応力・密着力・剥離トラブルハンドブック<Q&A集付>」 (情報機構)

セミナー番号:AD240334

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