MEMS、アクチュエータ、マイクロマシニング、半導体、フォトリソグラフィ

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Zoom

★MEMSを草分けから知る講師が、いまさら訊きづらい御質問にもお答えます。
★MEMSの基礎からしっかりと学べますのでご興味がある方は是非ともご参加下さい。

MEMSの基礎と応用
―マイクロセンサ・アクチュエータが拓く世界―


<Zoomによるオンラインセミナー>

講師

名古屋大学名誉教授/愛知工業大学客員教授 佐藤 一雄 先生

講師紹介

■ご略歴:
1970 横浜国立大学工学部機械工学科卒業
(株)日立製作所入社、金属塑性加工の研究に従事
1982 工学博士(論文博士:東京大学)
1983 マイクロマシンの研究に着手、80年代後半に現れるMEMSの基礎を作る
1994 (株)日立製作所退社
名古屋大学工学部・工学研究科教授(2012年に定年退職後、名誉教授)
2012 愛知工業大学工学部教授(2018年に定年退職後、客員教授)

■ご専門および得意な分野・研究:
MEMS全般
MEMSデバイス製造技術(とくにSiの3次元構造体エッチング)
MEMSデバイスの駆動技術(静電力応用)
微細な薄膜材料の機械特性評価技術
Si単結晶のアルカリ水溶液によるエッチング技術
金属材料の塑性変形

■本テーマ関連学協会でのご活動:
日本機械学会 名誉員、マイクロ・ナノ工学部門初代部門長、船井賞受賞(2010)
精密工学会 名誉会員、精密工学会賞受賞(2017)
IEEE MEMS-1997 大会委員長

→このセミナーを知人に紹介する

日時・会場・受講料

●日時 2021年6月15日(火) 10:30-16:30
●受講料 1名47,300円(税込(消費税10%)、資料付)
 *1社2名以上同時申込の場合、1名につき36,300円
      *学校法人割引;学生、教員のご参加は受講料50%割引。→「セミナー申込要領・手順」を確認下さい。

 ●録音・撮影行為は固くお断り致します。
 ●講義中の携帯電話の使用はご遠慮下さい。


■ セミナーお申込手順からセミナー当日の主な流れ →

配布資料・講師への質問等について

●配布資料は、印刷物を郵送もしくはメール送付のどちらかを検討中です。
 お申込については4営業日前までのお申込みを推奨します。
 それ以降でもお申込みはお受けしておりますが(開催1営業日前の12:00まで)、
 テキストが郵送となった場合、資料の到着がセミナー後になる可能性がございます。


●当日、可能な範囲で質疑応答も対応致します。
(全ての質問にお答えできない可能性もございますので、予めご容赦ください。)
●本講座で使用する資料や配信動画は著作物であり
 無断での録音・録画・複写・転載・配布・上映・販売等を禁止致します。
●受講に際しご質問・要望などございましたら、下記メールにてお問い合わせ下さい。 req@johokiko.co.jp


※本講座は、お手許のPCやタブレット等で受講できるオンラインセミナーです。

下記ご確認の上、お申込み下さい(クリックして展開「▼」:一部のブラウザーでは展開されて表示されます)
・PCもしくはタブレット・スマートフォンとネットワーク環境をご準備下さい。
・ご受講にあたり、環境の確認をお願いしております(20Mbbs以上の回線をご用意下さい)。
 各ご利用ツール別の、動作確認の上お申し込み下さい。
・開催が近くなりましたら、当日の流れ及び視聴用のURL等をメールにてご連絡致します。開催前日(営業日)の12:00までにメールが届かない場合は必ず弊社までご一報下さい。
・その他、受講に際してのご質問・要望などございましたら、下記メールにてお問い合わせ下さい。
 <req@johokiko.co.jp>

Zoom
Zoomを使用したオンラインセミナーとなります(クリックして展開「▼」)
・ご受講にあたり、環境の確認をお願いしております。
 お手数ですが下記公式サイトからZoomが問題なく使えるかどうか、ご確認下さい。
 → 確認はこちら
 *Skype/Teams/LINEなど別のミーティングアプリが起動していると、Zoomでカメラ・マイクが使えない事があります。お手数ですがこれらのツールはいったん閉じてお試し下さい。
 →音声が聞こえない場合の対処例

・Zoomアプリのインストール、Zoomへのサインアップをせずブラウザからの参加も可能です
 →参加方法はこちら
 →※一部のブラウザーは音声(音声参加ができない)が聞こえない場合があります、
   必ずテストサイトからチェック下さい。
   対応ブラウザーについて(公式);コンピューターのオーディオに参加に対応してないものは音声が聞こえません

セミナーポイント

■はじめに
MEMSは電子・電気・機械技術を融合した微細デバイス・システムであり、電子材料であるSi基板上に機械的構造を集積化することができます。本セミナーではMEMSに使われる材料、加工プロセス、生産形態、応用例を紹介し、多岐にわたるMEMS技術の全容を概観します。MEMSデバイスの開発に関わる技術者、MEMSデバイスを使った応用システム開発に関わる技術者、さらに将来の技術動向を考える方々を対象として以下の内容を講演します。MEMSを草分けから知る講師が、いまさら訊きづらい御質問にもお答えます。

■ご講演中のキーワード:
応用製品:圧力・加速度・角速度・ジャイロ・流速等のセンサ、マイクロフォン、AFM、光スキャナ、ディスプレイ、プリンタ。応用分野:自動車、通信端末、光学機器、医療、ヘルスケア

■受講対象者:
・MEMSを応用した分野に参入を検討している方
・多岐にわたるMEMS技術の全容がつかめないという方
・業務遂行にあたってMEMSに関する一般知識を得たい方
・MEMSの製造プロセスの知識を得たい方
・MEMS材料・デバイスの機械的な特性(強度評価法を含む)を知りたい方
・MEMS分野でこれまでに開発されたデバイス・システムに興味のある方
・MEMSについて質問をお持ちの方

■必要な予備知識や事前に目を通しておくと理解が深まる文献、サイトなど:
・大学の理工系学部卒業程度の物理・化学の知識があれば十分です
・書籍「センサ・マイクロマシン工学」(藤田編著・オーム社・2005/10)ISBN 978-4-274-20134-9.
「マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術」《普及版》(式田、佐藤、田中監修、シーエムシー出版、2009/10)ISBN978-4-7813-1101-2.
“Silicon Wet Bulk Micromachining for MEMS” Prem Pal and Kazuo Sato, Pan Stanford Publishing (2017), ISBN978-981-4613-72-9(Hard cover), ISBN 978-1-315-36492-6 (e-book).

■本セミナーで習得できること:
・MEMS全般の基礎知識
・MEMSのビジネス動向・情報
・シリコン単結晶・多結晶の機械的性質
・3次元微細形状を製作する手段(除去加工、付加加工、接合加工)
・シリコン加工手段の選択方法、トラブルへの対処方法

■受講された方の声(一例):
・具体的な例えがわかりやすく、理解しやすかったです。
・優しく教えていただけて助かりました。大変勉強になりました。
・内容も豊富で、受講して良かったです。
・事前の質問にも丁寧に回答いただけて良かったです。
・MEMSについて詳しくなかったですが、基礎からでわかりやすかったです。
などなど……ご好評の声を多数頂いております!

セミナー内容

1.MEMSの技術と製品の歴史
 1  半導体技術に根ざす技術
 2  機械技術に根ざす技術
 3  応用分野の二極化(大量生産と少量生産)
 4  分業が進むビジネスモデル

2.MEMSの製造技術「マイクロマシニング」
 1  半導体プロセスによる一括製造vs.機械的な単品製造
 2  半導体製造技術援用の強みと弱み
 3  半導体製造技術によるマイクロマシニング
 a)フォトリソグラフィ
 b)エッチング手段(ドライ/ウェット、等方性/異方性、KOH/TMAH)
 c)成膜技術(酸化、拡散、CVD、スパッタ蒸着、等)
 d)バルクマイクロマシニングと表面マイクロマシニング
 e)接合・アセンブル技術

3.機械材料としての「単結晶・多結晶シリコン」「シリコン化合物薄膜」
 1  単結晶・多結晶シリコンの強度・変形能
 2  薄膜の強度評価方法(引張り試験、曲げ試験、バルジ試験)

4.微小構造物を動かすアクチュエータ
 1  多彩な駆動原理(静電力、電磁力、熱、表面張力、光圧力、など)
 2  マイクロ化で変わる駆動方法の選択

5.成功事例の特徴と応用製品分野(参加者の関心に応じて選択的に詳述する)
 1  圧力センサ(プラント、管内流速、気圧、血圧、気圧、標高)
 2  加速度センサ(自動車、スマホ、ゲーム端末、スポーツ解析)
 3  回転角速度センサ(移動体車体制御)
 4  流速センサ(管内流量、ガスの流れ方向)
 5  マイクロフォン(小型端末、分布型配置)
 6  AFMプローブ(トポロジ、磁気・光・熱応用、ナノ摩擦)
 7  光スキャナ(障害物・人の検出、レーザ顕微鏡、ディスプレイ)
 8  インクジェットヘッド(プリンタ、マイクロ流体操作)
 9  自動車(内燃系、姿勢制御系、ディスプレイ系、障害物検出系)
10  光通信、光学機械(交換機、光スキャン、明暗パターン生成)
11  モバイル端末(マイクロフォン、加速度、圧力、風速)
12  医療(血圧、血液・尿・涙・呼気成分検出、ヘルスケア、介護)
13  バイオ、微粒子の検出・分類(特定細胞の検出・分離・診断)

セミナー番号:AG210654

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