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Zoom見逃し視聴あり

オンライン受講/見逃視聴なし → 

オンライン受講/見逃視聴あり → 

注目の酸化ガリウムを半日速習!
κ型の酸化ガリウムの結晶成長技術やミストCVD法の原理などについてわかりやすく解説します。

ミストCVD法による酸化ガリウム(Ga2O3)の

パワーデバイス応用


〜κ-酸化ガリウムのエピタキシャル成長とその物性評価〜

<Zoomによるオンラインセミナー:見逃し視聴あり>

講師

京都工芸繊維大学 電気電子工学系 准教授 博士(工学) 西中 浩之 先生


日時・会場・受講料

●日時 2021年11月29日(月) 12:30-16:30
●会場 会場での講義は行いません。
●受講料
  【オンラインセミナー(見逃し視聴なし)】:1名41,800円(税込(消費税10%)、資料付)
  *1社2名以上同時申込の場合、1名につき30,800円

  【オンラインセミナー(見逃し視聴あり)】:1名47,300円(税込(消費税10%)、資料付)
  *1社2名以上同時申込の場合、1名につき36,300円

      *学校法人割引;学生、教員のご参加は受講料50%割引。→「セミナー申込要領・手順」を確認下さい。

 ●録音・録画行為は固くお断り致します。


■ セミナーお申込手順からセミナー当日の主な流れ →

配布資料・講師への質問等について

●配布資料はPDF等のデータで送付予定です。受取方法はメールでご案内致します。
 (開催1週前〜前日までには送付致します)。
*準備の都合上、開催1営業日前の12:00までにお申し込みをお願い致します。
(土、日、祝日は営業日としてカウント致しません。)

●当日、可能な範囲で質疑応答も対応致します。
(全ての質問にお答えできない可能性もございますので、予めご容赦ください。)
●本講座で使用する資料や配信動画は著作物であり
 無断での録音・録画・複写・転載・配布・上映・販売等を禁止致します。
●受講に際しご質問・要望などございましたら、下記メールにてお問い合わせ下さい。 req@johokiko.co.jp

※本講座は、お手許のPCやタブレット等で受講できるオンラインセミナーです。

下記ご確認の上、お申込み下さい(クリックして展開「▼」:一部のブラウザーでは展開されて表示されます)
・PCもしくはタブレット・スマートフォンとネットワーク環境をご準備下さい。
・ご受講にあたり、環境の確認をお願いしております(20Mbbs以上の回線をご用意下さい)。
 各ご利用ツール別の、動作確認の上お申し込み下さい。
・開催が近くなりましたら、当日の流れ及び視聴用のURL等をメールにてご連絡致します。開催前日(営業日)の12:00までにメールが届かない場合は必ず弊社までご一報下さい。
・その他、受講に際してのご質問・要望などございましたら、下記メールにてお問い合わせ下さい。
 <req@johokiko.co.jp>

Zoom
Zoomを使用したオンラインセミナーとなります(クリックして展開「▼」)
・ご受講にあたり、環境の確認をお願いしております。
 お手数ですが下記公式サイトからZoomが問題なく使えるかどうか、ご確認下さい。
 → 確認はこちら
 *Skype/Teams/LINEなど別のミーティングアプリが起動していると、Zoomでカメラ・マイクが使えない事があります。お手数ですがこれらのツールはいったん閉じてお試し下さい。
 →音声が聞こえない場合の対処例

・Zoomアプリのインストール、Zoomへのサインアップをせずブラウザからの参加も可能です
 →参加方法はこちら
 →※一部のブラウザーは音声(音声参加ができない)が聞こえない場合があります、
   必ずテストサイトからチェック下さい。
   対応ブラウザーについて(公式);コンピューターのオーディオに参加に対応してないものは音声が聞こえません

見逃し視聴あり
申込み時に(見逃し視聴有り)を選択された方は、見逃し視聴が可能です。
(クリックして展開「▼」)
・原則、開催5営業日後に録画動画の配信を行います(一部、編集加工します)。
・視聴可能期間は配信開始から1週間です。
 セミナーを復習したい方、当日の受講が難しい方、期間内であれば動画を何度も視聴できます。
 尚、閲覧用URLはメールでご連絡致します。
 ※万一、見逃し視聴の提供ができなくなった場合、
 (見逃し視聴あり)の方の受講料は(見逃し視聴なし)の受講料に準じますので、ご了承下さい。

 →こちらから問題なく視聴できるかご確認下さい(テスト視聴動画へ)パスワード「123456」


セミナーポイント

■はじめに
 近年、酸化ガリウムは大きなバンドギャップと低コストで形成できるという特徴からパワー半導体として大きな注目を浴びている。この酸化ガリウムは複数の結晶構造があることが知られており、その中でもκ型の酸化ガリウムは唯一分極を持つことから、窒化ガリウムと同様の原理の高周波パワートランジスタへの応用が期待されている。さらにこのκ型の酸化ガリウムは窒化ガリウムを大きく上回る物性を有しており、低コストかつ高性能のBeyond5G高周波パワートランジスタとして魅力的な材料である。また、この高周波パワートランジスタは他の酸化ガリウムで課題となっているp型が不要であり、その実用化へのハードルは小さい。
 本セミナーでは、このκ型の酸化ガリウムの結晶成長技術やデバイス応用に向けた検討、他機関の研究動向、またミストCVD法の原理などについて解説を行う。

■想定される主な受講対象者
電機メーカー、半導体メーカー、自動車部品メーカー、化学メーカー、
半導体商社、半導体装置メーカーなど、パワー半導体や半導体製造装置に興味のある方。

■本セミナーに参加して修得できること
・酸化ガリウムのパワーデバイス応用の新しい展開
・ミストCVD法での酸化ガリウムの結晶成長技術
・ミストCVD法の原理
・酸化ガリウムの結晶成長の研究動向

セミナー内容

1.酸化ガリウムの結晶多形

 1) 結晶多形の結晶構造
 2) 結晶多形による特徴
 3) 結晶多形による研究動向


2.ミストCVD法

 1) ミストCVD法の歴史(スプレー熱分解法からパイロゾル法、ミストCVD法まで)
 2) ミストCVD法の原理

   a) ミストCVD法の装置
   b) 気相反応
   c) エピタキシャル成長を可能とする原理
   d) 大面積化の検討
 3) ミストCVD法のその他の応用例
   a) 透明導電膜など
   b) 有機材料の成膜
   c) 発光材料の成膜(ペロブスカイト材料) 

3.κ-酸化ガリウム

 1) κ-酸化ガリウムの物性
   a) 強誘電体
   b) 分極による二次元電子ガス密度
   c) 強誘電性による新しいデバイス
 2) κ-酸化ガリウムの研究動向
 3) κ-酸化ガリウムのエピタキシャル成長
   a) 形成方法によるエピタキシャル成長の違い
   b) ミストCVD法でのエピタキシャル成長
   c) 混晶化技術
   d) 回転ドメイン
   e) 回転ドメインへの対応
 4) κ-酸化ガリウムの高結晶性への取り組み
 
4.ミストCVD法でのその他の結晶多形の成長

 1) β-酸化ガリウム
    a) 高速成長技術
    b) 混晶化技術
 2) α-酸化ガリウム
    a) 高品質化
    b) 混晶化技術
    c) デバイス動作
    d) p型化の検討例
 3) γ-酸化ガリウム
    a) 混晶化によるさらなるワイドバンドギャップ化

5.まとめ

講師紹介

【講師略歴】
京都大学工学研究科電子工学専攻にて博士(工学)取得。大学ではミストCVD法の立ち上げから装置開発を行った。
 シャープ(株)にて太陽電池用の透明導電膜の開発、可視光応答光触媒の開発に従事。退社後、現職(京都工芸繊維大学)。現在はGa2O3の結晶成長技術を中心に酸化物半導体の研究開発に従事している。

【専門】半導体工学/化学工学/結晶成長

【本テーマ関連学協会での活動】応用物理学会、IEEE、日本材料学会

セミナー番号:AG211139

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