大気圧プラズマの基礎と

表面処理・殺菌/ウイルス不活化等への応用

－基本知識から，応用時の注意点，技術課題，最近の技術動向まで－

講師

東京科学大学 未来産業技術研究所　准教授 博士（工学）沖野 晃俊 氏

＊ 希望者は講師との名刺交換が可能です

講師紹介

【略歴】
大阪大学工学部応用物理学科卒業，東京工業大学大学院原子核工学専攻博士後期課程修了。
東工大電気・電子工学科助手，東工大未来産業技術研究所准教授を経て，
2024年10月東京工業大学と東京医科歯科大学の統合により現職。
1998年-1999年ジョージワシントン大学客員研究員，2006年-2007年UCLA客員教授。

日時・会場・受講料

●日時　2024年11月11日（月）　10:30-16:30　※途中、お昼休みと小休憩を挟みます。
●会場　[東京・大井町]きゅりあん4階研修室　→「セミナー会場へのアクセス」
●受講料　1名47,300円(税込（消費税10％）、資料付)
　＊1社2名以上同時申込の場合、1名につき36,300円
　　 ＊学校法人割引；学生、教員のご参加は受講料50％割引。→「セミナー申込要領・手順」を確認下さい。
　　※会場での昼食の提供サービスは中止しております。

　●録音・撮影行為は固くお断り致します。
　●講義中の携帯電話の使用はご遠慮下さい。
　●講義中のパソコン使用は、講義の支障や他の方の迷惑となる場合がありますので、極力お控え下さい。
　　場合により、使用をお断りすることがございますので、予めご了承下さい。
　　＊ＰＣ実習講座を除きます。

■ セミナーお申込手順からセミナー当日の主な流れ　→

セミナーポイント

■はじめに
大気圧プラズマは真空容器や排気設備を必要とせず，また高密度な活性種を生成できるため，産業応用には大変多くのメリットがあります。このため，材料表面の親水化処理，接着性の向上，クリーニング等の分野を中心に急速に利用され始めています。しかし，大気圧プラズマの発生や利用法についてはブラックボックスな部分が多いため，利用への敷居が高いのも事実です。そこで，本講演では，大気圧プラズマの物理・化学や応用時の注意点などを分かり易く解説するとともに，最新の大気圧プラズマ装置開発の現状と，表面処理，接着，殺菌/ウイルス不活化，医療，環境浄化等への応用例をご紹介します。

■想定される受講対象
大気圧プラズマの利用を検討されている方、すでに利用されていてもっと効果を上げたい方。
企業等の研究者・技術者、学生　など

■受講後、習得できること
1. 大気圧プラズマの中身（活性種やイオンの発生，各種プラズマ生成方式の違い）
2. 大気圧プラズマの装置開発と様々な応用の現状
3. 大気圧プラズマの有効な利用法

セミナー内容

（1） 大気圧プラズマの基礎
　 　1. 教科書に書かれているプラズマ
　 　2. なぜ大気圧プラズマが注目されている？
　 　3. 様々な大気圧プラズマの生成法と特徴

（2） 大気圧プラズマの中身
　 　1. プラズマ中では何が起こっているか
　 　2. プラズマ中粒子の衝突・励起・発光など
　 　3. プラズマの温度・密度

（3） 大気圧高温プラズマとその応用
　 　1. 大気圧高純度マルチガスプラズマ
　 　2. 地球温暖化ガスの分解
　 　3. 高速半導体プロセシング

（4） 大気圧低温プラズマ
　 　1. 様々な低温プラズマ
　 　2. リモートプラズマとダイレクトプラズマ
　 　3. プラズマガス種と生成される活性種
　 　4. 零下から高温まで温度を制御できるプラズマ
　 　5. クリーンルーム対応パーティクルフリープラズマ

（5） 大気圧低温プラズマの応用
　 　1. 表面や粉体の親水化処理/クリーニング/接着性向上
　 　2. 液体を使用した新しいコーティング法
　 　3. 殺菌/ウイルス不活化
　 　4. マイクロバブル，超音波との併用
　 　5. 紫外線，赤外線との同時処理
　 　6. 大流量ガスのプラズマ処理
　 　7. 金属酸化膜の高速還元処理
　 　8. 医療応用　表面付着物分析，内視鏡下止血など
　 　9. 農業応用　水耕栽培，植物のゲノム編集など
　 　10. 原子/分子分析応用

（6） 大気圧プラズマの近未来展望と利用のポイント