・見逃し視聴ありでお申込み頂いた方は、セミナーの録画動画を一定期間視聴可能です。
・セミナーを復習したい方、当日の受講が難しい方、期間内であれば動画を何度も視聴できます。
・原則、遅くとも開催4営業日後までに録画動画の配信を開始します（一部、編集加工します）。
・視聴期間はセミナー開催日から4営業日後を起点に1週間となります。
ex) 2/6（月）開催 セミナー → 2/10（金）までに配信開始 → 2/17（金）まで視聴可能
※メールにて視聴用URL・パスワードを配信します。配信開始日を過ぎてもメールが届かない場合は必ず弊社までご連絡ください。
※準備出来しだい配信致しますので開始日が早まる可能性もございます。その場合でも終了日は変わりません。
上記例の場合、2/8（水）から開始となっても2/17まで視聴可能です。
※GWや年末年始・お盆期間等を挟む場合、それに応じて弊社の標準配信期間設定を延長します。
※原則、配信期間の延長は致しません。
※万一、見逃し視聴の提供ができなくなった場合、
（見逃し視聴あり）の方の受講料は（見逃し視聴なし）の受講料に準じますので、ご了承ください。
→見逃し視聴について、
こちらから問題なく視聴できるかご確認ください。（テスト視聴動画へ） パスワード「123456」
セミナーポイント
スパッタリングは、エレクトロニクスをはじめとした様々なシーンで用いられる重要な成膜技術です。しかし、量産技術をどのように確立し、改善するのか？についてのノウハウはあまり知られていません。
本講座では、スパッタリング薄膜の品質の安定化、密着性改善、生産性向上、トラブル対応など、実務上の重要ポイントを網羅的・具体的に解説します。スパッタリングの基礎を学びたい方から実務エキスパートを目指す方まで、大変お勧めです。
■この講座を受講して得られる情報・知見：
・スパッタ薄膜の基礎から応用までを学べる
・スパッタ膜の物性をコントロールする方法を学べる
・薄膜の分析評価技術について知ることができる
・膜の密着性を改善するポイントが分かる
・スパッタ装置の生産性を高める方法を学べる
・スパッタ実務のトラブル解決へのヒントが得られる
セミナー内容
１．スパッタリング法の基礎
１．１ 薄膜の基本を知る
１．２ スパッタリング法の特徴とその用途
１．３ スパッタリング装置の構成
１．４ スパッタリング工程の運用と管理方法
２．スパッタリング法の物理現象
２．１ 物理現象を把握することの重要性について
２．２ スパッタリングの物理現象１（プラズマ放電）
２．３ スパッタリングの物理現象２（スパッタリング）
２．４ スパッタリングの物理現象３（組織形成）
２．５ スパッタリングの現象と制御パラメータの関係
３．スパッタリング薄膜の評価・分析技術
３．１ スパッタリング薄膜に求められる性能とは
３．２ あらゆる機能の基礎となる、膜厚・形状の測定
３．３ 薄膜の性能を知るための、各種特性の測定・評価
３．４ 特性の発現機構を明らかにする、結晶構造評価
３．５ 不具合現象解明のための元素・状態分析
３．６ 信頼性評価のための機械的性質・密着性評価
４．スパッタリング薄膜の特性安定化
４．１ 特性実現と特性安定化という２つの課題
４．２ 特性とパラメータの間にあるものを理解する
４．３ プロセスのばらつき・変動要因を理解する
４．４ プロセスのリアルタイム分析方法、データ解析事例
４．５ スパッタリング薄膜の特性安定化の重要ポイント
４．６ 【事例】特性値の悪化、バラツキ増大、トレードオフ
５．スパッタリング薄膜の密着性・信頼性改善
５．１ 薄膜の密着と剥離のメカニズム
５．２ 解析～原因追究の手順
５．３ 密着性改善・安定化のための具体的な手法
５．４ 薄膜の信頼性の問題と対策
５．５ 【事例】密着性不足、信頼性不足、密着性の悪化
６．スパッタリング薄膜の微小欠陥・外観異常対策
６．１ スパッタリング薄膜の欠陥モード
６．２ スパッタリング薄膜の外観検査とモニタリング
６．３ ピンホール・付着異物の原因究明と対策
６．４ 変色・しわ・しみの原因究明と対策
６．５ 【事例】微小欠陥の増加、異物問題、外観不良
７．スパッタリング工程の生産性改善
７．１ スパッタリング工程の原価を把握しよう
７．２ スパッタリング工程のコスト改善手法
７．３ スパッタリング工程の運用体制と稼働率
７．４ スパッタリング工程の稼働率改善法
７．５ メンテナンスを安全化しよう
７．６ 生産性改善アプローチの事例
＜質疑応答＞
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