・見逃し視聴ありでお申込み頂いた方は、セミナーの録画動画を一定期間視聴可能です。
・セミナーを復習したい方、当日の受講が難しい方、期間内であれば動画を何度も視聴できます。
・原則、遅くとも開催4営業日後までに録画動画の配信を開始します（一部、編集加工します）。
・視聴期間はセミナー開催日から4営業日後を起点に1週間となります。
ex) 2/6（月）開催 セミナー → 2/10（金）までに配信開始 → 2/17（金）まで視聴可能
※メールにて視聴用URL・パスワードを配信します。配信開始日を過ぎてもメールが届かない場合は必ず弊社までご連絡ください。
※準備出来しだい配信致しますので開始日が早まる可能性もございます。その場合でも終了日は変わりません。
上記例の場合、2/8（水）から開始となっても2/17まで視聴可能です。
※GWや年末年始・お盆期間等を挟む場合、それに応じて弊社の標準配信期間設定を延長します。
※原則、配信期間の延長は致しません。
※万一、見逃し視聴の提供ができなくなった場合、
（見逃し視聴あり）の方の受講料は（見逃し視聴なし）の受講料に準じますので、ご了承ください。
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こちらから問題なく視聴できるかご確認ください。（テスト視聴動画へ） パスワード「123456」
セミナーポイント
■はじめに
本セミナーでは、スパッタや真空蒸着によって無機・金属薄膜を形成する場合に問題となる膜質制御や剥離対策にテーマに絞り、（1）一つの技術課題とその解決のキーポイントの例示→（2）その技術内容に関わる最低限知っておきたい基礎事項の紹介→（3）成膜や特性改善に関する具体例を使ったより詳しい解説、という順で平易に説明します。主にスパッタ膜を取り上げますが、成膜の基本となる考え方から、現象の詳細、密着力の向上や評価方法と材料設計への活かし方に至る技術を、広く活用していただけるよう解説します。現在成膜に関する問題を抱えられている方、これから成膜技術をより深く理解して製品開発に取り組まれようとされる方、成膜品の品質検査や管理に関わる方に適した内容です。
■受講対象
・スパッタ・真空蒸着を用いた成膜技術に関わる初学者
・製品・プロセス開発技術者
・成膜品検査や品質管理に関わる技術者
■本セミナーに参加して修得できること
・成膜と薄膜形成の基礎知識
・膜質制御・剥離対策に必要な基礎知識
・密着力の向上や評価方法と品質管理の基礎知識
セミナー内容
１．成膜プロセスと薄膜形成現象を理解したい
Introduction 成膜方法により生じる膜質変化の具体例
1-1.何に注目して成膜プロセスの制御を考えるのか
1-2.スパッタと真空蒸着の違い
1-3.成膜装置と真空をあつかうための必要最小限の基礎知識
1-4.薄膜の初期構造や微視的組織はどのように形成されるのか
1-5.膜形成プロセスを利用した膜質制御の具体例と成膜最適化の考え方
・段差被覆性
・ウルトラクリーンプロセスの利用
・マクロな膜構造の制御
・成膜制御と成膜条件の最適化の考え方
２．膜の均一性・均質性を制御したい
Introduction 膜質を効果的に制御する具体例
2-1.スパッタリングの成膜環境
2-2.プラズマとは：制御パラメータと評価方法
2-3.イオン・高エネルギー粒子の照射現象とその活用のメリット･デメリット
2-4.プラズマを利用した膜質制御の具体例
・プラズマの不均一性による密着性のバラツキ
・膜面内の比抵抗値分布の均一化
・性能のトレードオフ関係の克服：硬質コーティングの多機能化
３．密着力を良くしたい
Introduction よくある剥離トラブル事の対応における失敗例
3-1.薄膜の密着力とは
・基板と薄膜の界面の構造
・異種材料界面がくっついている根本的な原因と界面に働く相互作用
・密着と粘/接着との違い
・膜応力と弾性歪エネルギーの密着性に与える影響
3-2.剥離を起こしている材料的要因を簡単に絞り込む方法
・４つの観点から剥離要因を絞り込む
・「剥離がなぜ起きるか？」から考える
・薄膜が剥離するとは？：膜の剥離原因・負荷条件と剥離･破壊のモード
3-3.密着性を改善するには
・Griffithの破壊の考え方と剥離を起こさせない条件
・エネルギー解放率の考え方
3-4.密着性を向上させる様々な方策
3-5.スクラッチ試験による密着力測定と材料設計への活かし方
・スクラッチ法が役に立つ3つの理由
・膜剥離の形態による剥離原因の解釈の仕方とスクラッチマップの活用
４．まとめ
講師紹介
【略歴】
１９９０年 東京大学工学研究科修士課程修了（金属工学専攻）
２０００年 工学博士 （東京大学）
１９９０年～２００１年 （株）神戸製鋼所 技術開発本部 研究員
１９９４年～１９９６年 スタンフォード大学材料科学工学科 客員研究員
２００２年～２００５年 科学技術振興機構 さきがけ研究２１ 個人研究者
２００５年～ 荒川化学工業株式会社 (2013～ペルノックス株式会社)
【専門】機能性材料設計、ナノ複合構造制御、薄膜形成プロセス、微細構造評価
【本テーマ関連学協会での活動】
受賞：日本金属学会論文賞、地方発明表彰支部長賞、全国発明表彰発明賞
著書：「薄膜の応力・密着力・剥離トラブルハンドブック＜Q&A集付＞」 （情報機構）
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