水現像性レジストの基礎、超微細射出インプリント成形と

ライフサイエンス分野への応用

～PFASを用いない手法、ガス透過性多孔質金型の活用～

＜Zoomによるオンラインセミナー＞

講師

富山県立大学 工学部　医薬品工学科　教授 博士（工学）　竹井 敏 氏

講師紹介

京都工芸繊維大学繊維学部高分子学科卒。京都工芸繊維大学大学院工芸科学研究科高分子学 専攻博士前期課程修了。1998年、日産化学に入社し、光・電子機能性材料や微細加工技術の研究を担当。その間、ベルギーの国際研究機関のInteruniversity Microelectronics Centre (IMEC) や米国のテキサス大学などに留学。また大阪大学大学院基礎工学研究科物質創成専攻博士後期課程を修了し、工学博士号を取得。2010年3月、日産化学を退職し、同4月より現職。大阪大学大学院とマレーシア工科大学　招聘教員を兼務。

　産業界から要望のある新製品の実用化を目的として、国内外との協業により、民間や海外機関で27年間研究開発を続け、知的財産権を７０件以上取得。
　シンガポール、ベルギー、マレーシア、及び米国での客員教員・国際交流・共同研究・駐在経験を活用し、大型プロジェクトの獲得や海外での製品化・実需化の経験により、ナノ加工法を工夫して、我が国の企業の課題解決と高付加価値新製品の創出に尽力中。

日時・会場・受講料

●日時　2025年3月26日（水）　13:00-17:00
●会場　　会場での講義は行いません。
●受講料　1名41,800円(税込（消費税10％）、資料付)
　＊1社2名以上同時申込の場合、1名につき30,800円
　　　　　 ＊学校法人割引；学生、教員のご参加は受講料50％割引。→「セミナー申込要領・手順」を確認下さい。

　●録音・録画行為は固くお断り致します。

■ セミナーお申込手順からセミナー当日の主な流れ　→

※配布資料等について

●配布資料は、印刷物を郵送で1部送付致します。
・お申込の際にお受け取り可能な住所を必ずご記入ください。
・郵送の都合上、お申込みは4営業日前までを推奨します。（土、日、祝日は営業日としてカウント致しません。）
・それ以降でもお申込みはお受けしておりますが（開催1営業日前の12:00まで）、その場合、テキスト到着がセミナー後になる可能性がございますことご了承ください。
・資料未達の場合などを除き、資料の再配布はご対応できかねますのでご了承ください。

●当日、可能な範囲でご質問にお答えします。（全ての質問にお答えできない可能性もございます。何卒ご了承ください。）
●本講座で使用する資料や配信動画は著作物であり、無断での録音・録画・複写・転載・配布・上映・販売などは禁止致します。

セミナーポイント

○講師より／本セミナーのポイント
A. 水現像性レジストの基礎
　・エコフレンドリーなプロセス: PFASや有機溶媒を使用せず、水での塗布と現像を可能にする高分子。
　・材料設計: 水溶液による塗布と現像を同時に実現するレジストの開発。
　・性能評価: フォトリソグラフィ用のネガ型・ポジ型水現像性レジスト材料の感度曲線、限界解像度、膨潤性、エッチング耐性、及び膜厚均一性の研究。
　・マイクロ加工技術: ネガ・ポジ型水現像性レジストのマイクロ加工技術の説明。
　・ライフサイエンスへの応用: 医療やバイオ関連分野でのリソグラフィ技術の活用実例。

B. 超微細射出インプリント成形
　・表面機能発現: 成形時のガス巻き込みと成形不良を低減するための新しい金型・モールド技術。
　・充填効率の向上: 多孔質構造によってガスを透過させ、充填を妨げる要因を排除する。
　・汎用性:お持ちの射出成形装置に金型をインストールすると実現できる超微細射出成形やナノインプリント技術の説明。
　・応用分野:ディスプレイ、光通信、センシング、ライフサイエンスなどの幅広い分野での活用実例。
　・

これらのポイントは、受講者が実際の以下の最新研究開発に活用できる実践的な情報となり、技術革新を促進するための基盤となります。

　・超撥水・防汚れ・血液付着防止材、綺麗に分けれる高性能フィルター
　・異物が詰まりにくいカテーテル、
　・痛くない注射デバイス・マイクロニードル
　・ガラス転移温度を人肌にした機能材料
　・生物模倣を活用した抗菌・接着材
　・オルガノイド・人工臓器をチップ上に再現する材料

○主な受講対象者は？
　・エレクトロニクス技術者: 水現像性レジストやナノインプリント成形に関心があるエンジニアや研究者。
　・材料科学者: 新しい高分子材料やエコフレンドリーなリソグラフィに興味を持つ研究者や技術者。
　・ライフサイエンスの専門家: 医療技術やバイオテクノロジーに関連する応用を目指す研究者。
　・プラスチック製造業のエンジニア: ナノ加工技術やプラスチック成形に関わる技術者。
　・研究機関の研究者: 新しい技術や材料開発に関心がある大学や研究所の研究者。

○本セミナーで得られる主な知識・情報・ノウハウ
1. 水現像性レジストの理解
　エコフレンドリーなリソグラフィプロセス: PFASや有機溶媒を使用しない水現像性レジストの特性と利点。
　材料設計と開発: 水溶液による塗布と現像を同時に実現するための高分子材料の設計原理。
2. フォトリソグラフィ技術
　感度曲線と膜厚均一性: フォトリソグラフィ用ネガ型・ポジ型水現像性レジストの性能評価方法について。
　マイクロ加工技術: ポジ型レジストを用いた実際のマイクロ加工手法とその応用事例の紹介。
3. 超微細射出インプリント成形技術
　ガス透過性モールドの活用: ガス巻き込みを低減する技術の原理と利点。
　材料設計の知識: 気泡の影響を受けにくいモールド作成に必要な材料設計のアプローチ。
4. 応用分野の理解
　多様な産業への展開: エレクトロニクス、ライフサイエンス、光通信など、さまざまな分野での具体的な応用例。
　新しい製品の開発: ナノ突起抗菌プラスチックや血液付着防止材料など、研究成果がもたらす潜在的な製品開発の可能性。
5. 実践的な技術ノウハウ
　水現像性リソグラフィプロセスの最適化: ナノインプリント加工やレジスト塗布の効果的な手法やプロセス管理のノウハウ。
　研究のトレンド: 最新の研究成果や技術進展を踏まえたリソグラフィ技術の動向。

セミナー内容

A 水現像性レジストの基礎
有機フッ素化合物・PFASを不要とし、水で塗工、水現像が可能である「水現像性レジスト」を用いたマイクロパターニング加工技術の基礎・最近研究を紹介する。エレクトロニクスだけでなく、ライフサイエンス分野へのリソグラフィ技術の活用例を説明する。既存の半導体金属基板以外の有機溶媒で溶解・腐食するプラスチック・フィルム・シート等の様々な基材に塗布が可能であるため、マイクロセンサー・ＭＥＭＳ構造物、早期診断・短時間増殖・細胞選別用3次元培養培地、銀ナノ粒子含有ナノ突起抗菌プラスチック、血液・細菌・血栓・指紋付着防止用包装フィルム・シートへの用途展開の加速が期待できる。

1.PFASを用いない、有機溶媒や強アルカリ・強酸を不要とするエコフレンドリーなリソグラフィプロセス
2.水溶液塗布と水現像を同時に実現する水現像性高分子の材料設計
3.フォトリソグラフィ用ネガ型・ポジ型水現像性レジスト材料の感度曲線と膜厚均一性
4.フォトリソグラフィ用ポジ型水現像性レジスト材料のマイクロ加工
5.ライフサイエンス分野への応用

B 超微細射出インプリント成形
金型と被転写材間へのガス巻き込み・成形不良を低減する「ガス透過性多孔質モールド」を用いた超微細射出インプリント成形加工技術の基礎・最近研究を紹介する。ガス透過性多孔質モールドの採用により、被転写材の充填を妨げる原因となるガスを多孔質構造の隙間から透過させ、成形不良と成形時間を低減することが可能となる。ディスプレイや光通信、センシング、ライフサイエンス等の広域な産業分野におけるナノインプリント加工の用途展開の加速が期待できる。

1.成形不良を削減できるガス透過性多孔質モールドによるナノインプリントプロセス
2.成形の際に巻き込まれる気泡や被転写材に含まれる希釈溶媒を透過できるガス透過性多孔質金型の材料設計
3.ナノ突起抗菌プラスチック加工
4.超撥水・防汚れ・血液付着防止用スーパーエンジニアリングプラスチックやマイクロニードル素材への表面超微細ナノ加工
5.ライフサイエンス分野への応用

＜質疑応答＞