わかりやすく基礎から解説！
＊薄膜・フィルム・接着等に携わる方が知っておきたい＊
表面・界面の分析技術と
表面状態の評価法
～各装置の基礎・原理・特徴とデータ処理・解釈の具体例～
発売/収録日時
発売 2009年8月
収録日時 2009年5月26日
ポイント
材料の表面は摩擦や摩耗が生じる場所である同時に、接着や腐食のような化学的な反応が発生する場所でもあり、材料を使用するときに大きな影響を与えます。さらに、近年ナノテクノロジーが進展するにつれ、使われる材料がより薄く、かつ小さくなり、表面や界面の持つ特殊な性質が材料に大きな影響を与えるようになりました。その結果、現在では様々な産業分野で表面や界面の組成や構造を把握することが大変重要なこととなりました。
この講義では、生産現場や研究開発現場で一般的に使用されている表面・界面分析手法について、その原理や概要を基礎からやさしく解説し、表面・界面分析を依頼するときや、あるいはこれから表面・界面分析をはじめようとするときに役に立つ知識を得ることを目的としています。
・講演中のKeywords：表面・界面、電子線、Ｘ線、イオンビーム、微小領域解析、ナノテクノロジー
講師
アルバック・ファイ（株） 理事 工学博士 吉原 一紘 先生
＊関連のご活動：（社）日本表面科学会 副会長
収録内容
Ⅰ．はじめに
表面・界面分析手法が材料解析や材料開発に果たす役割を説明する。
Ⅱ．表面・界面分析手法の基礎・原理と概要
各種の表面・界面分析手法の原理や特徴・その注意点等を基礎からやさしく解説する。
１．電子と固体の相互作用を利用した表面分析法
(1)電子線の発生方法
(2)走査電子顕微鏡（SEM）
(3)透過型電子顕微鏡（TEM）
(4)電子線プローブマイクロアナリシス（EPMA）
(5)オージェ電子分光法（AES）
２．Ｘ線と固体の相互作用を利用した表面分析法
(1)Ｘ線の発生方法
(2)Ｘ線光電子分光法（XPS）
(3)全反射蛍光X線分析法（TXRF）
(4)X線回折法（XRD）
３．イオンと固体の相互作用を利用した表面分析法
(1)イオンビームの発生方法
(2)イオン散乱分光法（ISS）
(3)二次イオン質量分析法（SIMS）
４．探針の変位を利用した表面分析法
(1)走査トンネル顕微鏡（STM）
(2)原子間力顕微鏡（AFM）
５．基本的なデータ処理
(1)ピーク分離
(2)データ点の平滑化
(3)データ点の微分
Ⅲ．表面・界面分析データの解釈
表面・界面分析手法で得られたデータの解釈方法を事例を挙げて解説する。
１．走査電子顕微鏡像の見方
２．電子線プローブマイクロアナリシス像の見方
３．オージェ電子分光法のスペクトル解析
４．Ｘ線光電子分光法におけるピーク位置のシフト
５．イオン散乱分光法のスペクトル解析
６．二次イオン質量分析法のスペクトルの見方
Ⅳ．表面・界面分析の最近の材料解析事例
主として局所領域分析や薄膜分析がどれだけ進歩しているかを、オージェ電子分光法とＸ線光電子分光法を例にとって紹介する。
１．オージェ電子分光法による微小領域の化学状態解析
２．オージェ電子分光法による極薄膜の深さ方向解析
３．Ｘ線光電子分光法によるポリマーの化学状態解析
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