発刊・体裁・価格

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発刊　　2007年8月　　定価　　74,800円(税込（消費税10％))
体裁　　B5判　415ページ　　ISBN　978-4-901677-83-7　　詳細、申込方法はこちらを参照

　


☆スパッタリングにおけるトラブル対策って？
　－コストダウン対策、アーキング対策、ターゲット利用率向上によるコストダウン

☆各種薄膜製造技術のメカニズムと特徴って？
　－真空蒸着、スパッタリング、イオンプレーティング法、スプレー法、イオンビーム照射、溶射、CVD法、PLD法

☆薄膜に関する疑問・問題点って？
　－薄膜密着のトラブル解決法・改善方法とは？ 付着力を向上させる技術とは？
　－薄膜の内部応力とは？・・・・・発生要因、表面効果、測定方法など。
　－薄膜の評価手法の信頼性とは？・・・・・薄膜の透過率と吸収の評価方法、薄膜の屈折率の評価方法など。

☆実際の製造プロセスによる薄膜作製技術とは？
　－透明導電膜作製方法、応用したデバイスとは？
　－反射防止膜の製造プロセス、基本的なスペクトル設計、コントロール技術とは？
　－有機・無機ELの構造と薄膜材料とは？
　－透明断熱フィルム作製技術と多層膜の構造とは？量産技術条件など。
　－液晶プロジェクターにおける薄膜製造技術とは？　各種光学部材、薄膜材料、光学特性の制御など。

☆実際の製造プロセスからみたトラブルと対策って？
　－液晶ディスプレイにおける成膜技術における異常放電の発生原因、デバイス上の問題点とは？
　－反応性スパッタリングに生じる問題と解決方法とは？
　－電磁波シールド膜作製に起こりうるトラブルと対策とは？・・・・・まわりこみ、スプラッシュ、密着とアンダーコートなど。

☆薄膜製造における最近のトピックスって？
　－パーティクル発生機構と抑制とは？・・・・・パーティクルの発生条件、外部パラメーターによるパーティクルの影響など。
　－ECRスパッタ薄膜の特徴とは？

執筆者一覧（敬称略）

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