「静電気」オンラインセミナー2025：電子デバイス製造工程における静電気対策

■本セミナーの受講形式（会場／Zoom両アイコンある場合は受講形式選択可）

zoom ……Zoomオンライン受講

見逃し視聴あり ……見逃し視聴選択可

●静電気の基本を再認識し、ESD対策に関する基本的なアプローチについて解説！！
●重要なポイントとして、静電気の測定・イオナイザーの効果確認等を計測器を用いた実演を参考に正しい静電気対策のプロセスを解説させていただきます。

講師

シシド静電気株式会社　営業本部　技術営業　上席顧問　山口　晋一　氏

講師紹介

■ご略歴：
1984年：米国静電気測定器メーカー（TREK INC）日本総代理店勤務（緑屋電気株式会社　輸入部）
1987年：米国静電気測定器メーカー日本法人勤務（トレック・ジャパン株式会社）
2007年：同社取締役
2009年：同社アメリカ本社　TREK INC副社長（Vice President, Sales and Marketing）
2014年：シシド静電気株式会社
2016年：クレハエクストロン（顧問：～2022年）
2017年：株式会社HAA光学（顧問）
2022年：岩手大学　大学院　博士課程卒業
2022年：イオナイザーの誘導帯電低減に関する国内特許取得
2024年：RCJシンポジウム　ベストペーパ受賞
現在、シシド静電気株式会社と株式会社HAA光学両社の顧問

■ご専門および得意な分野・研究：
・電子デバイス製造分野におけるESD/ESA（静電気放電・静電吸着）問題
・イオナイザーからの誘導帯電緩和技術
・電位測定（静電気）
・表面及び体積抵抗測定
・静電気放電検知技術
・イオナイザー評価技術

■本テーマ関連学協会でのご活動：
RCJ（日本電子部品信頼性センター）
静電気学会
IDEMA Japan

＜その他関連セミナー＞
半導体製造プロセス一覧はこちら

日時・受講料・お申込みフォーム

●日時：2025年8月27日(水)　13:00-17:00　＊途中、小休憩を挟みます。

●受講料：
【オンライン受講（見逃し視聴なし）】：1名 46,200円(税込（消費税10％）、資料付)
＊1社2名以上同時申込の場合、1名につき35,200円

【オンライン受講（見逃し視聴あり）】：1名 51,700円(税込（消費税10％）、資料付)
＊1社2名以上同時申込の場合、1名につき40,700円

＊学校法人割引：学生、教員のご参加は受講料50％割引。→「セミナー申込要領・手順」を確認ください。

●録音・録画行為は固くお断りいたします。

■ セミナーお申込手順からセミナー当日の主な流れ　→

お申込みはこちらから

配布資料・講師への質問など

●配布資料は、印刷物を郵送で1部送付いたします。
・お申込みの際にお受け取り可能な住所を必ずご記入ください。
・郵送の都合上、お申込みは4営業日前までを推奨します。（土、日、祝日は営業日としてカウントしません。）
・それ以降でもお申込みはお受けしておりますが（開催1営業日前の12:00まで）、その場合、テキスト到着がセミナー後になる可能性がございます。ご了承の上お申込みください。
・資料未達の場合などを除き、資料の再配布はご対応できかねますのでご了承ください。

●当日、可能な範囲でご質問にお答えします。（全ての質問にお答えできない可能性もございます。何卒ご了承ください。）
●本講座で使用する資料や配信動画は著作物であり、無断での録音・録画・複写・転載・配布・上映・販売などは禁止いたします。
●ご受講に際しご質問・要望などございましたら、下記メールアドレス宛にお問い合わせください。
req@*********（*********にはjohokiko.co.jpを入れてください）

オンラインセミナーご受講に関する各種案内（必ずご確認の上、お申込みください。）

PC／タブレット／スマートフォンなど、Zoomが使用できるデバイスをご用意ください。

インターネット回線速度の目安（推奨）　下り：20Mbps以上

開催が近くなりましたら、Zoom入室URL、配布資料、当日の流れなどをメールでご連絡いたします。開催前日（営業日）の12：00までにメールが届かない場合は必ず弊社までご一報ください。

⇒よくある事例として「弊社ドメイン（johokiko.co.jp）のメールがスパム扱いとなっている」「メールアドレスのご記載ミス」などがございます。お申込み後にフォームへご記載いただいたメールアドレスへ自動返信メールを送信しますので、こちらのメールが受信できない場合、弊社からのZoom入室URLや配布資料のご案内メールもお届けすることができなくなってしまいます。予め受信できる設定にお願いいたします。
※メールアドレスの記載誤りについては、以下へご連絡お願いいたします。
req@*********（*********にはjohokiko.co.jpを入れてください）

受講者側のVPN、セキュリティ設定、通信帯域などのネットワーク環境ならびに使用デバイスの不具合については弊社では対応いたしかねますので予めご了承ください。

Zoom使用に関する注意事項（クリックして展開）

公式サイトから必ず事前のテストミーティングをお試しください。

→ 確認はこちら
→Skype／Teams／LINEなど別のミーティングアプリが起動していると、Zoomで音声が聞こえない、カメラ・マイクが使えないなどの事象が起きる可能性がございます。お手数ですが、これらのアプリは閉じた状態にてZoomにご参加ください。
→音声が聞こえない場合の対処例

Zoomアプリのインストール、Zoomへのサインアップをせずブラウザからの参加も可能です。

→参加方法はこちら
→一部のブラウザは音声が聞こえないなどの不具合が起きる可能性があります。
対応ブラウザをご確認の上、必ず事前のテストミーティングをお願いします。
（iOSやAndroidOS ご利用の場合は、アプリインストールが必須となります）

申込み時に（見逃し視聴あり）を選択された方は、見逃し視聴が可能です。（クリックして展開）

見逃し視聴ありでお申込みされた方は、セミナーの録画動画を一定期間視聴可能です。

セミナーを復習したい方、当日の受講が難しい方、期間内であれば動画を何度も視聴できます。

原則、遅くとも開催4営業日後までに録画動画の配信を開始します（一部、編集加工します）。

視聴期間はセミナー開催日から4営業日後を起点に1週間となります。

ex）2/6（月）開催セミナー → 2/10（金）までに配信開始 → 2/17（金）まで視聴可能
→見逃し視聴について、こちらから問題なく視聴できるかご確認ください。（テスト視聴動画へ）パスワード「123456」

＜見逃し視聴ご案内の流れ・配信期間詳細＞

メールにて視聴用URL・パスワードを配信します。配信開始日を過ぎてもメールが届かない場合は必ず弊社までご連絡ください。

準備出来しだい配信いたしますので開始日が早まる可能性もございます。その場合でも終了日は変わりません。上記例の2/6開催セミナーの場合、2/8から開始となっても2/17まで視聴可能です。

GWや年末年始・お盆期間などを挟む場合、それに応じて弊社の標準配信期間設定を延長します。

原則、配信期間の延長はいたしません。

万一、見逃し視聴の提供ができなくなった場合、（見逃し視聴あり）の方の受講料は（見逃し視聴なし）の受講料に準じますので、ご了承ください。

セミナーポイント

■はじめに
電子デバイス製造工程において、静電気帯電を起因とした不良・不具合問題は、定常的に発生しております。ESD問題は、従来は人体の帯電が支配的でしたが、最近で人体以外の問題が主要な原因と成ってきました。それらは、CDM（帯電デバイスモデル：Charged Device Model）、CBE（帯電した電子基板からの放電：Charged Boad Event）、CDE（帯電したケーブルやハーネスからの放電：Cable Discharge Event）、ICテストソケットの帯電など多岐に及び、その内容も複雑かつ難しい（低電位管理）内容になります。この様な背景から、PCBの実装・製品組み立て工程におけるESD問題が最近注目をされて来ました。加えて、LSI製造技術が進展しチップレット（Chip Let）技術の採用に伴い、更なる対策（帯電電位：±30V以下）が求められています。これからのESD対策を行う為には、ESD/ESA問題に対して、正しい認識や知識が求められてます。
　現場では、静電気放電（ESD）対策に関する新たな対応が増えています。また、実際に対策をされている方々では、対策機器・用品に関する予算は積極的に取られていますが、測定器に関しては積極的な予算取りはされてない様です。測定器は、対策の原因や方向性を決める為の重要なツールです。
　本セミナーは、静電気の基本を再認識し、ESD対策に関する基本的なアプローチについて解説し、最近必要と成ってきている新たな情報を加えます。更に、静電気を正しく認識して頂く重要なポイントとして、静電気の測定・イオナイザーの効果確認等を、計測器を用いた実演を参考に正しい静電気対策のプロセスを解説します。

■ご講演中のキーワード：
・ESD/EOS
・HBM・CDM・CBE・CDE
・電位・電荷・静電容量・表面抵抗
・RCJS規格（IEC-61340規格）

■受講対象者：
・静電気対策を始めたばかりの方から、経験を積まれた御担当者の方
・静電気問題の対策を行っているが、有効な対策効果を出す事を検討されている方
・最新の静電気対策の情報を求められている方

■必要な予備知識や事前に目を通しておくと理解が深まる文献、サイトなど：
・高等学校の物理の教科書
・RCJS規格

■本セミナーで習得できること：
・静電気問題の本質
・静電気問題のプロセス
・静電気対策の有効な対処方法
・静電気対策の有効な維持管理方法

セミナー内容

１．静電気の基礎
・静電気とは？（静電気利用と問題）
・電荷・静電容量・電位
・静電気発生のプロセス（摩擦・剥離・誘導と帯電列）
・静電気放電（ESD）のプロセス（コロナ・グロー・アーク）
・帯電電位と塵埃付着の関係（エッジ効果）
・静電気問題及び対策（静電気の数値化・可視化）
① 抵抗測定器（靴・リストストラップ・床・拡散性対策材料）
② 静電気測定器（電界計・ACFB表面電位計・DCFB表面電位計）
実演：歩行中の人体帯電測定・対象物の大きさと測定器毎の精度
③ 電荷量の測定（ナノクーロンメーター）
④ イオナイザーの検査・評価（チャージド・プレートモニター）
⑤ 静電気放電の検出

２．静電気による問題
・人体帯電モデル（HBM）
・チャージﾄﾞデバイスモデル（CDM）
・帯電したPCB基板からの静電気放電（CBE）
・帯電したケーブルからの静電気放電（CDE）
・静電気帯電が形成する電界による誘導帯電

３．静電気対策の基本
・接地
・導電性材料・拡散性材料の使用（温湿度環境と表面抵抗値・対策レベルと表
面抵抗値）
・加湿（湿度環境と静電気帯電電位の関係）
・静電シールド（電界の遮蔽）
・イオナイザー
① イオンの生成方式：放射線型・DC型・パルスDC型・AC型・パルスAC型・高周波型・次世代AC型
② 形式：バー型・デスクトップ型・オーバヘッド型・ノズル型・ガン型
③ イオンバランス制御方式：センサーフードバック方式・自己制御方式
④ 性能評価：イオンバランス・イオンバランスの均一性・減衰特性・誘導帯電の有無・EMI
・わかりやすい解説と、実験を踏まえた内容とします。

４．製造現場における静電気対策
① 半導体製造前工程
＊異物対策の再確認
＊FOUP・SMIF PODの帯電
＊Chip Let技術を採用する場合、新たに±30VのESD対策が必要
② 半導体製造後工程
＊ICテストソケットでは２回放電する
＊Chip Let技術を採用する場合、新たな±30VのESD対策が必要
③ 液晶製造工程
＊搬送中のガラス基板へのイオンブローは両面同じ位置で行う
＊ガラス基板への片側のイオンブローは、更なる問題を引き起こす可能性
④ PC基板製造工程
＊スクリーン印刷後のPCBは、高い帯電電位を持つ
＊SMT装置内部でのイオンブローが必要と成って来る
＊マウントするデバイスの帯電電位・電荷量に注目
⑤ シート材製造（フィルム等）
＊同じ場所での表裏両面のイオンブローが基本
⑥ 射出成型工程
＊成型直後の無風除電を推奨
⑦ 製品組み立て工程
＊射出成型品（製品本体）の帯電
＊ハーネスの帯電
＊樹脂コネクタの帯電

5．Q&A（15分程度）