MEMS技術入門セミナー2025│基礎・各工程から様々な分野への応用・トレンド

■本セミナーの受講形式（会場／Zoom両アイコンある場合は受講形式選択可）

zoom ……Zoomオンライン受講

見逃し視聴あり ……見逃し視聴選択可

〇基礎から、フォトリソグラフィ・エッチング・成膜・接合・集積化・パッケージングなどの製造プロセスと勘所、評価技術や試作環境まで。
〇東北大・戸津氏が基礎から応用例まで俯瞰的に解説します！

講師

東北大学　マイクロシステム融合研究開発センター　センター長・教授　戸津健太郎氏

講師紹介

　2004年に東北大学大学院工学研究科機械電子工学専攻博士課程修了後、引き続き同大学において半導体微細加工プロセスに関する研究教育、産学連携に従事。2021年より東北大学マイクロシステム融合研究開発センター長・教授。2010年からは東北大学試作コインランドリの長として半導体微細加工共用施設を運営。2022年より文部科学省マテリアル先端リサーチインフラ（ARIM）高度デバイス領域代表・東北大ハブ長として、半導体を中心とした開発を支援している。2024年より技術研究組合最先端半導体技術センター（LSTC）を兼業し、人材育成分野の大学・地域・産業連携WGの座長を務めている。また、2024年からは東北大学半導体クリエイティビティハブ（S-Hub）のハブ長として、学内外の学生、社会人向けの半導体教育プログラムも統括している。

＜その他関連セミナー＞
半導体製造プロセス一覧はこちら

日時・受講料・お申込みフォーム

●日時：2025年12月5日(金)　13:00-17:00　＊途中、小休憩を挟みます。

●受講料：
【オンライン受講（見逃し視聴なし）】：1名 46,200円(税込（消費税10％）、資料付)
＊1社2名以上同時申込の場合、1名につき35,200円

【オンライン受講（見逃し視聴あり）】：1名 51,700円(税込（消費税10％）、資料付)
＊1社2名以上同時申込の場合、1名につき40,700円

＊学校法人割引：学生、教員のご参加は受講料50％割引。→「セミナー申込要領・手順」を確認ください。

●録音・録画行為は固くお断りいたします。

■ セミナーお申込手順からセミナー当日の主な流れ　→

お申込みはこちらから

配布資料・講師への質問など

●配布資料はPDFなどのデータで配布いたします。ダウンロード方法などはメールでご案内いたします。
・配布資料に関するご案内は、開催1週前～前日を目安にご連絡いたします。
・準備の都合上、開催1営業日前の12:00までにお申込みをお願いいたします。
　（土、日、祝日は営業日としてカウントしません。）
・セミナー資料の再配布は対応できかねます。必ず期限内にダウンロードください。

●当日、可能な範囲でご質問にお答えします。（全ての質問にお答えできない可能性もございます。何卒ご了承ください。）
●本講座で使用する資料や配信動画は著作物であり、無断での録音・録画・複写・転載・配布・上映・販売などは禁止いたします。
●ご受講に際しご質問・要望などございましたら、下記メールアドレス宛にお問い合わせください。
req@*********（*********にはjohokiko.co.jpを入れてください）

オンラインセミナーご受講に関する各種案内（必ずご確認の上、お申込みください。）

PC／タブレット／スマートフォンなど、Zoomが使用できるデバイスをご用意ください。

インターネット回線速度の目安（推奨）　下り：20Mbps以上

開催が近くなりましたら、Zoom入室URL、配布資料、当日の流れなどをメールでご連絡いたします。開催前日（営業日）の12：00までにメールが届かない場合は必ず弊社までご一報ください。

⇒よくある事例として「弊社ドメイン（johokiko.co.jp）のメールがスパム扱いとなっている」「メールアドレスのご記載ミス」などがございます。お申込み後にフォームへご記載いただいたメールアドレスへ自動返信メールを送信しますので、こちらのメールが受信できない場合、弊社からのZoom入室URLや配布資料のご案内メールもお届けすることができなくなってしまいます。予め受信できる設定にお願いいたします。
※メールアドレスの記載誤りについては、以下へご連絡お願いいたします。
req@*********（*********にはjohokiko.co.jpを入れてください）

受講者側のVPN、セキュリティ設定、通信帯域などのネットワーク環境ならびに使用デバイスの不具合については弊社では対応いたしかねますので予めご了承ください。

Zoom使用に関する注意事項（クリックして展開）

公式サイトから必ず事前のテストミーティングをお試しください。

→ 確認はこちら
→Skype／Teams／LINEなど別のミーティングアプリが起動していると、Zoomで音声が聞こえない、カメラ・マイクが使えないなどの事象が起きる可能性がございます。お手数ですが、これらのアプリは閉じた状態にてZoomにご参加ください。
→音声が聞こえない場合の対処例

Zoomアプリのインストール、Zoomへのサインアップをせずブラウザからの参加も可能です。

→参加方法はこちら
→一部のブラウザは音声が聞こえないなどの不具合が起きる可能性があります。
対応ブラウザをご確認の上、必ず事前のテストミーティングをお願いします。
（iOSやAndroidOS ご利用の場合は、アプリインストールが必須となります）

申込み時に（見逃し視聴あり）を選択された方は、見逃し視聴が可能です。（クリックして展開）

見逃し視聴ありでお申込みされた方は、セミナーの録画動画を一定期間視聴可能です。

セミナーを復習したい方、当日の受講が難しい方、期間内であれば動画を何度も視聴できます。

原則、遅くとも開催4営業日後までに録画動画の配信を開始します（一部、編集加工します）。

視聴期間はセミナー開催日から4営業日後を起点に1週間となります。

ex）2/6（月）開催セミナー → 2/10（金）までに配信開始 → 2/17（金）まで視聴可能
→見逃し視聴について、こちらから問題なく視聴できるかご確認ください。（テスト視聴動画へ）パスワード「123456」

＜見逃し視聴ご案内の流れ・配信期間詳細＞

メールにて視聴用URL・パスワードを配信します。配信開始日を過ぎてもメールが届かない場合は必ず弊社までご連絡ください。

準備出来しだい配信いたしますので開始日が早まる可能性もございます。その場合でも終了日は変わりません。上記例の2/6開催セミナーの場合、2/8から開始となっても2/17まで視聴可能です。

GWや年末年始・お盆期間などを挟む場合、それに応じて弊社の標準配信期間設定を延長します。

原則、配信期間の延長はいたしません。

万一、見逃し視聴の提供ができなくなった場合、（見逃し視聴あり）の方の受講料は（見逃し視聴なし）の受講料に準じますので、ご了承ください。

セミナーポイント

■はじめに：
　社会の様々な場面で利用されているマイクロセンサをはじめとするMEMS（Micro Electro Mechanical Systems）について、実用化の歴史、コア技術である半導体微細加工、デバイスの応用例などを幅広く紹介します。

■受講対象者：
・MEMSをはじめとするデバイスの研究開発を行っている方、さらにこれから行うとされている方。
・MEMSを応用したシステム等を検討されている方。
・半導体微細加工技術に興味のある方。

■必要な予備知識：
　この分野に興味のある方なら、特に予備知識は必要ありませんが、加工技術については、高専や大学卒程度の化学、物理の知識があると、より深く理解できると思います。

■本セミナーで習得できること：
・MEMSの歴史
・MEMSデバイス設計、製造の勘所
・MEMSデバイスの将来性
など

セミナー内容

１．概論
　1）MEMSとは
　2）MEMSの製品、応用例

２．フォトリソグラフィ
　1）フォトレジストと塗布
　2）露光
　3）グレイスケールリソグラフィ
　4）インプリント

３．エッチング
　1）ウェットエッチング
　2）CMP、ダマシン
　3）ドライエッチング

４．成膜
　1）酸化
　2）スパッタリング、蒸着、メタライズ
　3）CVD、ALD
　4）めっき
　5）応力

５．接合
　1）陽極接合
　2）直接接合、活性化接合、洗浄
　3）金属接合
　4）ウェハ仮接合、ポリマー接合

６．複合プロセス、表面マイクロマシニング
　1）エピシール
　2）表面マイクロマシニング、付着防止
　3）エピタキシャルポリシリコン

７．集積化
　1）CMOS-MEMS集積化
　2）ヘテロ集積化

８．パッケージング
　1）貫通配線、フィードスルー
　2）ウェハレベルパッケージング
　3）気密封止、真空封止
　4）ダイシング

９．評価
　1）計測技術
　2）材料物性

10．試作環境
　1）共用設備の活用
　2）東北大学をはじめとする全国の取組紹介

＜質疑応答＞