……Zoomオンライン受講
……見逃し視聴選択可
○EUVレジスト・リソグラフィの基礎や要求特性から最新ロードマップ・市場動向、最先端の開発動向や現状課題と展望までを包括的に解説。
○トピックスであるEUVメタルドライレジストプロセス、アンダーレイヤー、光分解性クエンチャーなども取り上げます!
講師
Eリソリサーチ 代表 遠藤 政孝 氏
講師紹介
1983年松下電器産業株式会社入社。以来同社半導体研究センター、パナソニック株式会社セミコンダクター社プロセス開発センターにて、半導体リソグラフィプロセス、レジスト、微細加工用材料の開発に従事。2009年から大阪大学産業科学研究所にて、レジスト材料、EUVレジストの研究開発に従事。
2024年からEリソリサーチを設立。レジスト、リソグラフィ、先端パッケージのコンサルティング、技術調査、講演活動を実施。
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日時・受講料・お申込みフォーム
●日時:2025年12月12日(金) 10:30-16:30 *途中、お昼休みや小休憩を挟みます。
●受講料:
【オンライン受講(見逃し視聴なし)】:1名 50,600円(税込(消費税10%)、資料付)
*1社2名以上同時申込の場合、1名につき39,600円
【オンライン受講(見逃し視聴あり)】:1名 56,100円(税込(消費税10%)、資料付)
*1社2名以上同時申込の場合、1名につき45,100円
*学校法人割引:学生、教員のご参加は受講料50%割引。→「セミナー申込要領・手順」を確認ください。
●録音・録画行為は固くお断りいたします。
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配布資料・講師への質問など
●配布資料は、印刷物を郵送で1部送付いたします。
・お申込みの際にお受け取り可能な住所を必ずご記入ください。
・郵送の都合上、お申込みは4営業日前までを推奨します。(土、日、祝日は営業日としてカウントしません。)
・それ以降でもお申込みはお受けしておりますが(開催1営業日前の12:00まで)、その場合、テキスト到着がセミナー後になる可能性がございます。ご了承の上お申込みください。
・資料未達の場合などを除き、資料の再配布はご対応できかねますのでご了承ください。
●当日、可能な範囲でご質問にお答えします。(全ての質問にお答えできない可能性もございます。何卒ご了承ください。)
●本講座で使用する資料や配信動画は著作物であり、無断での録音・録画・複写・転載・配布・上映・販売などは禁止いたします。
●ご受講に際しご質問・要望などございましたら、下記メールアドレス宛にお問い合わせください。
req@*********(*********にはjohokiko.co.jpを入れてください)
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セミナーポイント
■はじめに:
メモリー、マイクロプロセッサ等のデバイスの高集積化の要求は、携帯端末、情報機器等の高性能化に伴い、益々大きくなっている。微細加工を支えるリソグラフィ技術は現在最先端の3nmノードの量産工程でEUVが用いられており、今年度の2nmノード以降その役割は益々増大する。EUVレジストはこのようなEUVリソグラフィ技術の変革に対応して進展し続けている。
本講演では、最新(2024年版)のロードマップ(IRDS)とEUVリソグラフィの概要を紹介した後、EUVレジスト・EUVメタルレジストの基礎と要求特性、課題と対策、最新技術動向を解説する。トピックスとなっている高NA露光装置、アンダーレイヤー、光分解性クエンチャー、EUVメタルドライレジストプロセスについても詳しく述べる。最後に今後のEUVレジストの技術展望、市場動向についてまとめる。
■受講対象者:
・本テーマに興味のある企業の研究者、技術者、製造販売担当、新規事業開発担当、企画担当、特許担当、市場アナリスト、特許アナリストの方
・これらの職種を希望される学生の方
■必要な予備知識:
基本から解説しますので予備知識は不要です。
■本セミナーで習得できること:
・EUVレジスト・EUVメタルレジストの基礎知識・最先端技術
・EUVリソグラフィの基礎知識・最先端技術
・EUVレジスト・EUVメタルレジストの要求特性
・EUVレジスト・EUVメタルレジストの課題と対策
・EUVレジスト・EUVメタルレジストのビジネス動向
など
セミナー内容
1.ロードマップ(IRDS)
1)リソグラフィ技術、レジスト材料への要求特性
2)微細化に対応するリソグラフィ技術の選択肢
3)最先端デバイスの動向
2.EUVリソグラフィの概要
1)露光装置
a)高NA露光装置
2)光源
3)マスク
3.EUVレジストの基礎
1)EUVレジストの設計指針
2)化学増幅型EUVレジストの反応機構
3)EUVレジストプロセス
a)アンダーレイヤー
4.EUVレジストの要求特性
1)化学増幅型EUVレジスト用ポリマー
2)化学増幅型EUVレジスト用酸発生剤・クエンチャー
a)光分解性クエンチャー
5.EUVレジストの課題と対策
1)感度/解像度/ラフネスのトレードオフ
2)ランダム欠陥(Stochastic Effects)
3)EUVレジストの開発動向
a)ポリマーバウンド酸発生剤を用いる化学増幅型レジスト
b)ネガレジストプロセス
6.EUVメタルレジスト
1)EUVメタルレジスト用材料
2)EUVメタルレジストの反応機構
3)EUVメタルレジストの性能と開発動向
7.EUVメタルドライレジストプロセス
1)EUVメタルドライレジストプロセス用材料
2)EUVメタルドライレジストプロセスの反応機構
3)EUVメタルドライレジストプロセスの性能と開発動向
8.EUVレジストの技術展望、市場動向
<質疑応答>
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セミナーコード:AD251214