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……見逃し視聴選択可
スパッタリング・真空蒸着による薄膜形成の基礎を整理し、成膜条件と膜構造・膜質の関係、プラズマ利用、膜応力の発生・緩和メカニズムを解説。密着性・剥離対策、膜応力測定、成膜プロセスや品質改善への活用方法まで具体的に紹介します。
講師
ペルノックス株式会社 工学博士 岩村 栄治 氏
【略歴】
１９９０年 東京大学工学研究科修士課程修了（金属工学専攻）
２０００年 工学博士 （東京大学）
１９９０年～２００１年 （株）神戸製鋼所 技術開発本部 研究員
１９９４年～１９９６年 スタンフォード大学材料科学工学科 客員研究員
２００２年～２００５年 科学技術振興機構 さきがけ研究２１ 個人研究者
２００５年～ 荒川化学工業株式会社 (2013～ペルノックス株式会社)
【専門】機能性材料設計、ナノ複合構造制御、薄膜形成プロセス、微細構造評価
【本テーマ関連学協会での活動】
受賞：日本金属学会論文賞、地方発明表彰支部長賞、全国発明表彰発明賞
著書：「薄膜の応力・密着力・剥離トラブルハンドブック＜Q&A集付＞」 （情報機構）
＜その他関連商品＞
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日時・受講料・お申込みフォーム
●日時：2026年11月12日(木) 10:30-17:00 ＊途中、お昼休みや小休憩を挟みます。
●受講料：
【オンライン受講（見逃し視聴なし）】：1名 52,800円(税込（消費税10％）、資料付)
＊1社2名以上同時申込の場合、1名につき41,800円
【オンライン受講（見逃し視聴あり）】：1名 58,300円(税込（消費税10％）、資料付)
＊1社2名以上同時申込の場合、1名につき47,300円
＊「見逃し視聴あり」でお申込の場合、当日のご参加が難しい方も後日セミナー動画の視聴が可能です。
＊学校法人割引：学生、教員のご参加は受講料50％割引。→「セミナー申込要領・手順」を確認ください。
＊5名以上でのお申込の場合、更なる割引制度もございます。
ご希望の方は、以下より別途お問い合わせ・お申込みください。
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配布資料・講師への質問など
●配布資料はPDFなどのデータで配布いたします。ダウンロード方法などはメールでご案内いたします。
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●当日、可能な範囲でご質問にお答えします。（全ての質問にお答えできない可能性もございます。何卒ご了承ください。）
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セミナーポイント
■はじめに
本セミナーでは、スパッタや真空蒸着で形成する無機・金属薄膜の性能や、密着性の改善をしようとする際に、薄膜形成の観点から役立つような膜質/膜応力制御方法や剥離対策について紹介します。特に、①やみくもに実験の手数をかけずに、適切な薄膜形成手法や成膜条件を選定し、欲しい薄膜物性・性能や、安定した薄膜品質が効率的に得るにはどうしたらよいか、②膜応力を例に、薄膜を分析評価し、そのデータをどのように成膜プロセス設計や材料設計に活用すればよいか、という2つの大きな観点から、成膜形成プロセスの基礎知識、成膜現象と膜応力や欠陥発生メカニズムの詳細、膜応力の評価方法、さらには剥離などの応力緩和現象に関わる性能改善につなげる技術について、実際に広く活用していただけるよう解説します。現在成膜や膜応力に関わる問題を抱えられている方、これから成膜技術をより深く理解して製品開発に取り組まれようとされる方、成膜品の品質検査や管理に関わる方に適した内容です。
■受講対象
・スパッタ・真空蒸着を用いた成膜技術に関わる初学者
・中堅製品・プロセス開発技術者
・成膜品検査や品質管理に関わる技術者
■本セミナーに参加して修得できること
・成膜と薄膜形成の基礎知識
・膜質/膜応力制御・剥離対策に必要な基礎知識
・膜応力の評価方法と品質改善/管理に関わる基礎知識
セミナー内容
１．成膜プロセスと薄膜形成現象を理解する
1-1．何に注目して成膜プロセスの制御を考えるのか
1-2．スパッタと真空蒸着の違い
1-3．成膜装置と真空をあつかうための必要最小限の基礎知識
1-4．薄膜の初期構造や微視的組織はどのように形成されるのか
1-5．膜形成プロセスを利用した膜質制御の具体例と成膜最適化の考え方
・薄膜に生じる構造欠陥
・段差被覆性
・ウルトラクリーンプロセスの利用
・マクロな膜構造の制御
・成膜制御と成膜条件の最適化の考え方
２．膜の均一性・均質性を制御する
2-1．スパッタリングの成膜環境
2-2．プラズマとは：制御パラメータと評価方法
2-3．イオン/高エネルギー粒子の照射現象：
膜特性/性能への影響とバイアススパッタ成膜における活用のメリット
2-4．プラズマを利用した膜質制御の具体例
・プラズマの不均一性による密着性のバラツキ
・膜面内の比抵抗値分布の均一化
・性能のトレードオフ関係の克服：硬質コーティングの多機能化
３．膜応力と密着性を制御する
3-1．膜応力の発生と応力緩和のメカニズム
・薄膜に発生する応力とはなにか
・様々な膜特性や性能への膜応力の影響の考え方
・薄膜が形成される過程での膜応力発生のメカニズムの詳解
・膜応力の緩和現象とは：様々な緩和現象と温度や膜厚などの影響
・成膜条件によって膜応力はどのように変化するのか
・膜応力を低減させる手法
3-2．膜応力が剥離/密着性に影響を与えるのはなぜか
・薄膜がくっついているとか、剥離するとはどういうことなのか
・弾性歪エネルギーと膜応力や密着性との関係
・エネルギー解放率の考え方と密着性を改善する様々な手法
3-3．膜応力の測定と膜質改善への活かし方
・膜応力評価の原理と測定における注意点
・パターニングされた薄膜や多層膜における膜応力の特徴と評価方法
４．まとめ
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